Aperture extraction 17099281 Axcelis GSD High Current Implanter

Composant d'extraction d'ions Axcelis référence 17099281

Cette ouverture d'extraction est dédiée aux systèmes de fabrication de semi-conducteurs utilisant la plateforme de forte dose Axcelis GSD. Elle assure la transition du faisceau depuis la chambre à arc vers la ligne de transport.

Caractéristiques mécaniques de l'ouverture

• Conception d'origine : Conforme aux plans Axcelis GSD
• Matériaux résistants : Traitement de surface anti-pulvérisation
• Identification : Gravure de la référence 17099281

Usage en environnement de production de plaquettes

Ce produit répond aux besoins des usines de fabrication de puces électroniques fonctionnant en continu. Sa géométrie propre prévient l'effet de neutralisation du faisceau, maintenant un niveau de productivité conforme aux spécifications de l'implanteur.